东好像抓住了什么……

脑海中，牛顿那傲慢的声音响了起来。

「你就是高三阁下那位愚蠢的侄子？你的脑子是被皇家学会的门夹了吗？」

「你叔叔前几天才刚刚说过的问题，怎么你又钻进了『介质』的牛角尖里了？」

「对啊！」

李东睁开眼睛。

「现在所有人都和困在『镜片色差』里的牛顿一模一样！都在死磕浸没液这个『光的传播介质』。」

「试图把介质的温度波动和折射率波动降到零！」

【光影洞察】的效果在这一刻起到了作用。

李东眼里没有了试卷，只有一束深紫色的 arf准分子雷射，它穿过物镜，射入超纯水中……

李东嘴角都要压不住了。

「我根本不需要去硬控介质折射率（n）！我只要去控制光源的真空波长（λ）！」

「既然浸没液的折射率整体变化了Δn，那我只要同步去微调光源的波长，给它一个同比例的补偿Δλ。」

「只要保证(n+Δn)/(λ+Δλ)= n /λ始终成立，也就是λ和 n严格保持同比例变化。」

「那么代入相位公式，新的相位φ&39;=2π?(n+Δn) l/(λ+Δλ)=2π?nl/λ=φ，永远保持不变！」

更关键的是，这个等式与光线的入射角度和光程长度完全无关。

无论光线以多大的入射角射入浸没液，无论它的光程是多少，只要 n和λ同比例变化，所有光线的相位都会完全保持原值，物像之间的等光程性不会被破坏。

甚至连折射率变化带来的焦深变化，也会因为补偿量极小而被抹平。

数值孔径 na=n?θ，焦深 df=λ/na2。

虽然λ和 n同比例微调时 df物理上无法做到绝对恒定，但这区区几p的波长调谐量，带来的焦深波动仅有纳米级的千分之一，在工程容差上完全可以忽略不计！

切入点，被他找到了！

李东立马准备将这个「光源波长实时同步调谐补偿方案」写在试卷上。

然而，当他动笔时却突然僵住了。

「等等……」

「要微调λ，雷射器必须要接收到一个精准的控制指令，这个指令从哪来？」

题目要求响应速度≤ 1，且不能有任何与晶圆表面直接接触的部件。

这意味着，用接触式温度传感器实地测量水温的方案完全不可行，响应速度不达标呀。

「唯一的办法是……前馈控制！」

李东无短板的02属性开始发挥作用。

「必须提前建立一个精准的映射模型。」

「这套系统的所有核心工况参数现在都是已知的。」

「我只需要通过预实验，标定出不同工况参数组合下，曝光狭缝内浸没液的瞬态温升Δ，再通过超纯水的折射率温度系数，推导出对应的Δn，最后直接把这个预标定的补偿值同步反馈给雷射器，让它在雷射出光的瞬间，同步完成Δλ的调整！」

想通了这一层，李东却感到一阵深深的无力感。

要建立这个无延迟的前馈

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