顾不上安检还在对李修吾进行检查，走过来握住李修吾的手。

“老板，可把你盼来了。”

“邱教授这么激动，实验室肯定有巨大的惊喜等着我。”李修吾笑着回应，从安检的升级中，李修吾能感觉到光刻机的技术突破受到重视。

一身黑色衣服的安保，带着白色手套，将李修吾的手机和腕表收进自封袋，放在托盘里，才放李修吾进去。

“走，我带你去看看我们的成果。”一向沉稳的邱连海教授这次很急，拉着李修吾就往里走。

又经过两道安检门、风淋室，这里的防护等级比超算中心高出几个等级。

将身上的衣服换成防尘服，李修吾跟着邱连海走进核心实验区。

空旷的厂房里，一台巨大而粗野的机器安静地矗立着，各种管线密布，蓝色的指示灯有规律地闪烁。

“这就是我们的第一代纳米压印冷刻机。”邱连海走到巨大的玻璃窗前，看着内部那台机器，眼中满是自豪。

李修吾打量着这台粗野庞然大物。

听到名字他愣了一下。“纳米压印冷刻机。”

纳米压印光刻机他知道，这是1995年出现的技术理论，目前的缺陷非常大，卡在500纳米，无法突破。

“不错，当前的纳米压印技术，是热压技术，很容易对硅晶片产生形变，从而导致良品率差，还会损伤压印模板，模板使用受限，50-100次就会损毁。”

“我们的一个成员，在逆推12英寸浸没式光刻机的过程中，巧合地突破了纳米晶金光石技术。”

“里维斯对这项技术很感兴趣，在对它的研究中，灵光一闪，想到了快被世界遗忘的纳米压印技术。”

“经过多次推算验证，并且申请了中科院的超算进行模拟，得到冷刻的可行性，当时向你汇报，邀请你来商议，你的答复是自主决定。”

他看向李修吾。

李修吾回忆了一下，当时自己好像在深市，邱连海邀请他去一趟，他当时因为镁合金实验室的事情没有去，潘磊回去也提过这件事。

“我们的冷刻技术，在低温环境中进行压印，使用紫外led阵列，对芯片进行室温固化。”

“模板是实验室合成的纳米晶金光石，它在常温下坚固，长时间使用不发热，搭配我们自主研发的自组装抗粘性涂层，使用频次能达到5000次。”

邱连海自豪地介绍着眼前的庞然大物。李修吾听得似懂非懂，但明白，这其中有很多是实验室突破性技术的应用。

“目前生产芯片能达到什么水平？”

“110纳米能实现量产，90纳米只能小规模生产，正在调试，理论上可以做到量产，但还有一些难题需要解决。”

邱连海推了推眼镜，“虽然他和国外12英寸浸没式光刻机，还有很大的技术差距，但我们的纳米压印冷刻机，走的技术路线和浸没式光刻机不同。”

“我们完全掌握了冷刻压印的核心技术，后续迭代只是时间和投入的问题。”

“好。”李修吾只说了一个字，但语气中的满意谁都听得出来。

“超算也帮了大忙，很多过去要反复试错的东西，现在直接模拟运算，节省

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