物变化，都会导致光学失真。

一旦失真，我们不得不停止生产，重新进行数周的对准和校正。

校正一次的成本，甚至比生产一个月的7n晶圆还要高。

和传统的半导体生产设备比起来，这条技术路线最大的问题在于，它的调试成本太高，无论是时间成本还是金钱上的成本。」梁孟松解释道。

正当台积电想要获得白宫许可，卖5n的晶片给华国的时候，华国已经摸到了4n的门槛。

这台命名为cg-1的光刻机，虽然还不是euv光刻机，因为华国还没搞定光源，但已经是传统duv光刻机路线下的极限。

「梁工，你犯了一个绝对稳定的工程错误。」林燃轻声提醒道。

梁孟松一愣，不解地看着林燃。

在过去的合作过程中，梁孟松知道林燃也许对工艺没有他那幺熟练，但对方天马行空的想法，尤其是在数学解决工程上的能力，绝对是蓝星之最。

他们内部团队戏称，数学上的问题如果林燃没有办法解决，那这个地球上就没有人能解决了。

「我们用超构透镜的极限精度，实现了4n的理论解析度。

但你试图用传统的静态被动稳定方法，不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。

我们花无数时间去调试，去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。」

林燃擡手，指了指空气，似乎他们眼前就有cg-1光刻机一样。

「但cg-1的透镜组，永远不可能像asl的纯石英镜片那样稳定。

它的材料、它的结构，注定对环境更敏感。

无论是从现在，还是从长远来看，我们都必须放弃绝对稳定的幻想，转向动态补偿。