第812章 光刻工厂试验成功,颠覆性的技术再 宝宝小蛮腰
近距离接触这个技术。
这在学术界,可是具备极大的学术价值。
所以,外人都能够想明白的事情,在这里工作的众多员工也很清楚。
此刻毫无疑问就是决定他们命运的关键时刻。
只要光刻工厂成功了,那幺他们就能伴随着这个成功,在事业上取得新的成就。
可要是失败,一切休提!
从指挥中心的屏幕上,可以看到每个流程的画面。
这里毕竟是光刻工厂,而不是晶片生产流程,不会从一堆沙子变成晶片开始。
就只见到机械臂把一片12英寸的硅片,缓缓送到固定位置,在这个硅片上所涂抹的光刻胶,正是银河科技自研出来的产品。
包括eda设计软体,再到掩膜台,这些核心软体以及设备都是银河科技自主研发,突破西方技术完成的。
众人看着屏幕里的硅片,就像是在看稀世珍宝一样,充满了期待。
当晶圆精准对接至双工作台的瞬间,屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。
005μ!
这个数字是什幺意思呢,相当于头发丝直径的千分之一!
很快,光斑在晶圆表面上开始移动,如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。
小小的一枚晶片,看上去可能还没有小拇指指甲大,但是放到高精显微镜下,就能看到密密麻麻的电路图案。
只有看到这个场景,才会知道晶片上所存在的技术是何等强大。
设备运行发出的低鸣声,在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。
只不过,在场的众人都没有嫌弃这个声音,甚至于连呼吸都不敢大声,害怕会有影响。
第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机,光刻胶经显影液处理后,电路图案逐渐显影。
当晶圆从设备中送出时,测试主管快步上前,用机械臂将其转移至电子显微镜下。
屏幕上,28n的电晶体阵列整齐排列,线条边缘光滑如镜,没有一丝毛刺。
「线宽均匀度987!」测试主管的声音带着颤抖,「符合设计标准!」
控制中心里响起第一阵压抑的掌声,随即又迅速安静起来。
因为真正的「大考」还在后面,接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序,任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。
时间一分一秒过去,晶圆在不同车间流转,控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数:蚀刻深度误差≤2,离子掺杂浓度均匀性≥99,金属布线良率95……
数据曲线像一条绷紧的弦,时高时低,却始终在合格线以上徘徊。
因为整个流程不是一两个小时就能完成的,所以领导们是专门抽出了一天的时间,留在这里,要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。
如果出现问题,就要立即找出问题,并解决。
如果成功的话,那就立刻汇报上去,这将会成为又一个领先全球的技术,极大地增强我们的话语权和竞争力。
到了中午的时候,是专门送来的盒饭,而不是专门去外面吃。
就连休息,也是临时征用了工
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